云譯翻譯公司
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客戶(hù)公司介紹:
客戶(hù)公司是一家行業(yè)領(lǐng)先的公司,是一家有社會(huì )責任的公司??蛻?hù)公司擁有眾多的知識產(chǎn)權財產(chǎn),并且為社會(huì )發(fā)展做出積極的共享。
公司知識產(chǎn)權: 該公司擁有諸多專(zhuān)利 如:專(zhuān)利名稱(chēng) 一種高阻隔薄膜的制備方法 摘要 本發(fā)明涉及一種高阻隔薄膜制備的方法,其技術(shù)方案為,首先將基材放置于基片臺或繞于電極輥上,并對反應室抽真空,之后對基材進(jìn)行表面活性處理,然后通入有機硅化合物蒸氣和含氧氣體等成膜氣體并調節氣壓,再開(kāi)啟粉塵粒子清除裝置的電源并調節施加于捕集電極上的電壓,之后開(kāi)啟射頻電源功率開(kāi)關(guān)并調節饋入功率,開(kāi)始碳氧化硅薄膜沉積,至得到柔性透明超高阻隔碳氧化硅薄膜樣品,最后關(guān)閉射頻電源,停止成膜氣體的通入,再關(guān)閉粉塵粒子清除裝置的電源,停止真空抽氣,待真空腔室放氣完成后,取出樣品。本發(fā)明可實(shí)現碳氧化硅薄膜無(wú)污染的制備,具有制備工藝簡(jiǎn)單,薄膜沉積速率高,有利于實(shí)現大規模工業(yè)化生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。 |
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